磁場控制電源
Magnetic Field Control
精新電源擁有國內首創的磁場控制電源,包括三角波電源、磁場掃描電源等,可以靈活動態的在工藝過程中調整腔體內的磁場,完美解決PVD工藝流程中遇到的各類磁場相關的問題。
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